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新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(PPG550)基于先進的MEMS(微機電系統)傳感器技術。在MEMS工 藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術能夠構建非常小且節省空間的傳感器。皮拉尼基于MEMS技術,在低真空范 圍內比經典皮拉尼測量得更深、更準確。
皮拉尼壓電真空計 PPG570新型INFICON皮拉尼壓電組合真空計(PPG570)基于先進的MEMS(微機電系統)傳感器技術,該技術也 用 于 我 們 的 PPG550“ATM 到 中 等 真 空 計 中 。PPG570與PPG550的區別在于額外安裝的ATM傳感器,該傳感器允許在經典的負載鎖應用中使用PPG570。
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