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IE414和IE514是基于熱陰極電離效應的高超真空傳感器。IE414是Bayard-Alpert量規,而IE514基于Extractor提取器原理。這些無源真空計由IM540真空計控制器組合和控制。通過調節陰極發射電流,IE414的測量范圍從1×10-2毫巴到1×10-11毫巴,跨度超過9級。
IM540真空計控制器是一款多功能電離計控制器,可在10-12mbar和大氣壓范圍內提供完整的真空測量和控制。根據應用和用戶的需求,IM540是一站式解決方案,因為它可以結合多達4種不同的真空測量原理-皮拉尼、電容式隔膜、Bayard-Alpert和Extractor提取器。
過程測量、控制和數據記錄的可持續解決方案TPG36x有 源真空計控制器與各種INFICON有源真空計兼容,能夠監 測和記錄整個壓力范圍(10-10至1500毫巴(10-10至1125托)和設定點狀態。
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TripleGauge®BCG552將3個真空傳感元件組合在一個傳感器中。這款新TrigonTM系列的旗艦產品提供了從UHV(5x10-10)到大氣壓(1500毫巴)的極寬測量范圍。BCG552配備有額外ATM傳感器預設計用于壓差測量,并在多種應用 中 用 作 真 空 開 關 。