Edge CDG045D2 電容膜片真空計 (1...1000乇/毫巴）

INFICON Edge 電容膜片式真空計是專為惡劣制造環境設計的極其準確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性，而且具有wuyulunbi的零位穩定性。Edge 隨附 INFICON 已獲zhuanli的dute傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過程副產品的影響。電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節，另外還有 EtherCAT 現場總線接口可供選擇。其創新的加熱概念能夠對接觸表面進行冷卻，節約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類產品中最小巧的真空測量儀器。

好處

• 結構緊湊，節省寶貴的工具空間

• 易于集成，EtherCAT，各種滿量程和法蘭，標配兩個設定點

• 簡單的一個按鈕或遠程信號歸零命令，零點偏移可調

• 用于快速維修和維護的診斷端口

• 兩年保修，更長的使用壽命，加熱概念和儀表保護

• 由于具有出色的信號穩定性和可重復性，因此無需長期重新校準，即使在惡劣的等離子體應用中也是如此

• 合規性和標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS

典型應用

• CVD、蝕刻、PVD等半導體生產工藝