產品特點：

● 技術的CMOS傳感器設計，杜絕了零點漂移的問題。

● 小于150ms的超快速的響應時間。

● 5sccm到450slm的量程范圍內確保了精確和可重復的流量測量和控制

● 高精度的測量精度（讀數值的0.5%+0.3%的全量程）

● *的內部抗紊流設計，可以消除因上游的壓力變化而導致下游氣體流量的變化。

● 多達6個點的流量校準點，比很多其他品牌流量計5個點的校準點，意味著更好的線性度；特別是在0-20%的流量控制范圍。

● 只有1秒的熱機時間,減少因MFC預熱時間而影響生產

● 全量程1%-的超寬量程比控制，為用戶提供更廣的應用選擇

● 可以顯示流量設定值，實際測量值，氣體類型以及累積氣體消耗量等信息,同時可以測量所控制氣體的溫度。

● 不銹鋼的表面處理、潔凈室要求的處理，和zui少的橡膠密封件使用保證了在清潔工藝中的使用要求。

● 可提供Analog(0-5VDC,4-20mA)，Profibus DP,RS485/Modbus等控制方式，

● 可提供16種氣體的多氣體/多量程的設置

● 3年超長的質量保證

● 符合歐洲CE，EMC標志

OEM版本

同時瑞士Vogtlin質量流量控制器還有OEM的版本，是專門為設備商而量身定做的，為設備商提供諸如氣體3進1出，4進一出，或者1進3出，1進4出,zui多可以集成12路氣體，以及流量控制器的入口和出口表面安裝方式等氣體混合解決方案，大大減少了管路的占用和氣體分配系統的空間，具體的應用要求，請

同時瑞士Vogtlin質量流量控制器還有OEM的版本，是專門為設備商而量身定做的，為設備商提供諸如氣體3進1出，4進一出，或者1進3出，1進4出,zui多可以集成12路氣體，以及流量控制器的入口和出口表面安裝方式等氣體混合解決方案，大大減少了管路的占用和氣體分配系統的空間，具體的應用要求，請與我們。