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1479A MKS流量計

簡要描述:1479A MKS質量流量計采用全金屬密封設計,做工堅固。適用于有毒和腐蝕性氣體。1479A流量計連接適當壓力傳感器可作壓力控制器。1479A的精度為滿量程的±1%。

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  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2024-09-27
  • 訪  問  量:1415
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加工定制

1479A MKS質量流量計采用全金屬密封設計,做工堅固。適用于有毒和腐蝕性氣體。1479A流量計連接適當壓力傳感器可作壓力控制器。1479A的精度為滿量程的±1%。

1479A選型1479A00411CR1A6MXX

前綴

編碼

1479A

1479A

氣體選擇

Helium, He

001

Argon, Ar

004

Hydrogen, H2

007

Nitrogen, N2

013

Oxygen, 02

015

流量選擇

10

11C

20

21C

50

51C

100

12C

200

22C

500

52C

1000

13C

2000

23C

5000

53C

10000

14C

20000

24C

接口法蘭選擇

標準Swagelok 4VCR 公頭

R

可選擇VCO

G

可選擇Swagelok 14"

S

C-密封表面支架如SEMI2787.1

C

W-密封表面支架如SEMI2787.3F

H

閥門選擇

通常情況關閉

1

電通訊連接方式

模擬接口

9針“D"類型

A

15針“D"類型

B

20針“D"類型

C

數字接口

RS-485

5

DeviceNetTM

6

密封選擇

金屬,在200sccm以下流量的用Kel-F閥塞,在500sccm以上的用杜邦閥塞

M

版本-*總線適配器

N

除了客戶,MKS公司將給當前的版本

B









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