技術文章
1)鍍低應力膜料時,選擇鍍金晶振片
zui常見的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu,這些膜層幾乎沒有應力,在室溫下鍍膜即可。膜層較軟,易劃傷,但不會裂開或對基底產生負作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜,經驗證明,可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。
2)使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應力膜層
Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產生高應力,膜層容易從晶體基片上剝落或裂開,以致出現速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規則正負變動。有時,這些情況可以容忍,但在一些情況下,會對蒸發源的功率控制有不良作用。
3)使用銀鋁合金晶振片鍍介質光學膜
MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光學透明區域或折射率特性,被廣泛用于光學鍍膜,但這些膜料也是zui難監控的,只有基底溫度大于200度時,這些膜層才會與基底有非常良好的結合力,所以當這些膜料鍍在水冷的基底晶振片上,在膜層凝結過程會產生巨大的應力,容易使晶振片在1000埃以內就回失效。
這時候,選用合金晶振片將是的選擇,將大大減少調頻機會。實驗室顯示,使用合金晶振片監視氟化鎂,有效壽命比鍍金的長。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50度,晶振片的壽命更可以再延長一倍。